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一种有机发光显示器蒸镀用掩膜的电铸制作方法

基本信息

申请号 CN200510101380.9 申请日 -
公开（公告）号 CN1804138A 公开（公告）日 2010-02-17
申请公布号 CN1804138A 申请公布日 2010-02-17
分类号 C25D1/00;C23C14/04 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 魏志凌;高小平;赵录军;胡鹏程 申请（专利权）人 昆山允升吉电子有限公司
代理机构 深圳创友专利商标代理有限公司 代理人 喻尚威
地址 518103广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区富桥三区A4栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种有机发光显示器蒸镀用掩膜 的电铸制作方法，依次有以下步骤：芯模准备→芯模前处理→ 贴膜→曝光→显影→除油→水洗，其特征在于：还依次有以下 后续步骤：活化/钝化→水洗→电铸掩膜→水洗→褪膜→剥膜→ 丝网粘接→成品检测→成品包装。本发明采用电铸技术可以制 作厚度在0.05mm以下的OLED蒸镀用高精度掩膜，由于是基 于应用电化学的电沉积原理，通过在芯模上电沉积某一金属或 合金，因此掩膜板开孔均匀一致，孔壁光滑无毛刺，无侧向腐 蚀，有利于发光材料完全转移到ITO表面，显著提高制品精度， 开孔公差达到±0.005mm，幅面为370mm×470mm的掩膜板 的孔间位置公差仅为±0.008mm。