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一种延长MOCVD过滤器寿命的方法

基本信息

申请号 CN201410514578.9 申请日 -
公开（公告）号 CN104258681A 公开（公告）日 2015-01-07
申请公布号 CN104258681A 申请公布日 2015-01-07
分类号 B01D51/02(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 师伟堂;王伟;王富文;周向志 申请（专利权）人 杭州广荣科技有限公司
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 代理人 杜军
地址 310012 浙江省杭州市西湖区西溪路525号B楼425室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种延长MOCVD过滤器寿命的方法。本发明是在MOCVD过滤器前端加装水冷装置。水冷装置包括水冷腔体，在水冷腔体内设置有螺旋盘绕的水冷管，水冷管的进水端和出水端分别设置于水冷装置两端，在水冷腔体还设置有用于过滤尾气中大颗粒的不锈钢网滤芯。水冷装置一方面能使一般固体颗粒及低沸点物质在进入过滤器之前发生凝聚沉积，进入过滤器中的颗粒物质变少，降低了单个标准LED程序过程中滤芯的吸附量，延长滤芯寿命，另一方面可以降低进入过滤器内尾气的温度，减少更换过滤器时的等待时间，降低时间成本。