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一种复合分子泵

基本信息

申请号 CN201810162956.X 申请日 -
公开（公告）号 CN108412786A 公开（公告）日 2018-08-17
申请公布号 CN108412786A 申请公布日 2018-08-17
分类号 F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 马建;乐韵;董宝田 申请（专利权）人 北京海斯德电机技术有限公司
代理机构 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 代理人 姚金金
地址 100191 北京市海淀区学院路35号世宁大厦410A
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种复合分子泵，包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子，机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子，第一导流槽的上端与机芯壳体的内部连通；转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子，牵引级转子与第一牵引级定位对应设置，且牵引级转子的外周设有第二导流槽，定子套设于转子上，且定子包括第一牵引级定子、与涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与牵引级转子对应设置的第二牵引级定子。本发明在机芯壳体上开设第一导流槽形成第一牵引级定子，在转子转动时，机芯壳体内的气体从第一导流槽向出气口方向流动，使得机芯壳体内真空度提高，从而抑制机芯壳体内空气向高真空区泄露。