节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构
基本信息
申请号 | CN201320274360.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203462168U | 公开(公告)日 | 2014-03-05 |
申请公布号 | CN203462168U | 申请公布日 | 2014-03-05 |
分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 张向锋;贾宝申;王凌晖;江左林;高培波;赵杰 | 申请(专利权)人 | 无锡鼎晶光电科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 214000 江苏省无锡市新区鸿山街道锡协路208-6号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种节能型泡生法蓝宝石长晶炉热场结构,包括不锈钢桶和置于其内部的内保温桶,在内保温桶的内腔中设置鸟笼式发热体,在鸟笼式发热体的下方设置下隔热屏,在鸟笼式发热体的内腔中设置坩埚,该坩埚由底部的坩埚支撑结构支撑;在坩埚上端设置坩埚盖,在坩埚盖上放置上隔热屏,内保温桶与不锈钢桶的侧部以及底部之间均采用氧化锆纤维板作为保温层。本实用新型采用鸟笼式发热体以及设计合理的上下隔热屏和坩埚支撑结构,产生适于蓝宝石生长的温度梯度;采用氧化锆纤维板作为侧部保温层和底部保温层材料,有效降低热场的采购价格,同时由于氧化锆纤维板在使用中不易变形,客服了钨钼薄壁侧屏易变形的缺点,提高了使用寿命。 |
