蓝宝石单晶炉用称重装置

基本信息

申请号 CN201110367633.2 申请日 -
公开(公告)号 CN102392295B 公开(公告)日 2014-03-26
申请公布号 CN102392295B 申请公布日 2014-03-26
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张向锋;贾宝申 申请(专利权)人 无锡鼎晶光电科技有限公司
代理机构 无锡市大为专利商标事务所 代理人 曹祖良
地址 214145 江苏省无锡市新区鸿山街道办锡协路208-6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种蓝宝石单晶炉用称重装置,其包括称重传感器,所述称重传感器通过传感器支架安装于下壳体内,所述下壳体内设有用于传输称重传感器称重信号的信号传输装置;称重传感器及信号传输装置均密封安装于下壳体内。本发明通过称重传感器与信号传输装置的对应配合能够提供蓝宝石晶体生长过程中所需要的重量信号,具有相应的精度,称重传感器及信号传输装置密封安装于下壳体内,上壳体位于下壳体的上方,下壳体与上壳体相分离;下壳体能够实现跟随蓝宝石晶体长晶时旋转机构转动,满足转动过程中信号传输并满足了蓝宝石单晶炉所需要的密封条件;结构简单紧凑,安装使用方便,提高测量精度,适应性好,提高蓝宝石生长的稳定性及可靠性。