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泡生法蓝宝石引晶形态控制方法

基本信息

申请号 CN201210279358.3 申请日 -
公开（公告）号 CN102758251B 公开（公告）日 2016-01-20
申请公布号 CN102758251B 申请公布日 2016-01-20
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 贾宝申;张向锋 申请（专利权）人 无锡鼎晶光电科技有限公司
代理机构 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） 代理人 曹祖良
地址 214145 江苏省无锡市新区鸿山街道办锡协路208-6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法，其包括如下步骤：a、将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内，在籽晶杆上安装籽晶，启动真空系统及加热系统，调节加热系统的电压，以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态，并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于20mm；b、缓慢调节籽晶位置，使得籽晶逐渐接近熔体液面，同时调节加热系统的工作电压，以避免籽晶熔融；c、在籽晶的下端部与上述熔体液面2~5mm处预热30min；d、利用传统提拉工艺，旋转籽晶，调节加热系统的工作电压，控制结晶端部的直径小于50mm，并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩。本发能够较好地控制结晶端部的形态；操作方便，提高引晶成功率及成品率。