一种制备电子级高纯氢氟酸的预处理方法
基本信息
| 申请号 | CN202010989789.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112028022A | 公开（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申请公布号 | CN112028022A | 申请公布日 | 2020-12-04 |
| 分类号 | C01B7/19(2006.01)I;C01B33/10(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 江伟;胡洪峰;谢钺 | 申请（专利权）人 | 宣城亨泰电子化学材料有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 宣城亨泰电子化学材料有限公司 |
| 地址 | 242000安徽省宣城市宣州区宣城高新技术产业开发区麒麟大道10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备电子级高纯氢氟酸的预处理方法，属于氢氟酸制备技术领域，包括以下步骤：将氟化钙反应得到的HF气体通入洗涤液为硫酸的洗涤塔中进行除尘和冷却，此时流出的HF气体中仍混入少量水蒸汽；对洗涤过得气体通入冷凝塔中进行冷凝操作，将HF气体液化，其中液态HF混合物通入精馏塔除去夹杂的硫酸和水，部分未凝气体混合物通入脱气塔，除去其中夹杂的二氧化硫和四氟化硅气体；将冷凝、精馏和脱气产生的尾气进行收集处理，并收集脱气完成的无水氢氟酸。通过对回转反应炉制备的HF高温气体进行洗涤、冷凝、精馏和脱气操作，最终获取无水HF有助于提高电子级高纯氢氟酸制备的纯度。 |
