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一种基于刻蚀衍射光栅的高分辨率光谱仪

基本信息

申请号	CN201822111617.7	申请日	-
公开（公告）号	CN209400083U	公开（公告）日	2019-09-17
申请公布号	CN209400083U	申请公布日	2019-09-17
分类号	G01J3/18（2006.01）I; G01J3/28（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	何赛灵; 马珂奇; 朱凝	申请（专利权）人	绍兴图聚光电科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济开发区西环路586号科创大厦A座1705
法律状态	-

摘要

本实用新型提供了一种基于刻蚀衍射光栅的高分辨率光谱仪，包括基片，输入波导、自由传输区、反射光栅和输出波导集成于基片上；输入波导，用于接收待测光信号，并传输到自由传输区；自由传输区，传输从输入波导出射的待测光和被反射光栅反射的待测光；反射光栅，用于反射待测光信号至输出波导入射端，使反射光在输出波导的入射端满足干涉相长的条件；输出波导，所述输出波导为密集阵列波导，密集阵列波导由多个不同宽度的波导循环排列组成，每个波导为一个输出通道，每个输出通道输出不同波长的光。本实用新型的光谱仪与使用等宽度阵列波导作为输出波导的光谱仪相比，在相同光谱仪器件尺寸的条件下，输出通道个数更多，输出通道间距更小，光谱仪分辨率更高。