无水氟化铝的气相制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110547671.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113355651A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113355651A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C23C16/30（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C01F7/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李进;高振华 | 申请（专利权）人 | 湖北省黄麦岭磷化工有限责任公司 |
| 代理机构 | 宜昌市三峡专利事务所 | 代理人 | 成钢 |
| 地址 | 432818湖北省孝感市大悟县阳平镇 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种无水氟化铝的制备方法，将氯化铝气体经载气与四氟化硅气体经载气采用等离子体气相沉积法制备得到氟化铝。所述的载气为氮气或氩气，氮气或氩气的纯度大于99.999%。所述的氯化铝气体经载气与四氟化硅气体经载气进行气相沉积过程中进入腔体的射频功率为350～450W，射频频率12‑16MHz，温度250～350℃，腔体压强100～160Pa。所述的氯化铝气体经载气的气体流量为150‑180sccm，四氟化硅气体经载气的气体流量为100‑130sccm。该制备方法中，原料氯化铝和四氟化硅都是以气体的形式存在，是一种气气反应制备氟化铝的方法，提升了产品质量。 |
