用于晶圆清洗的片架
基本信息
| 申请号 | CN202020773634.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212342584U | 公开（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申请公布号 | CN212342584U | 申请公布日 | 2021-01-12 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐良;郑小琳;蓝文安;刘建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭炜;叶继春 | 申请（专利权）人 | 金华博蓝特新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 金华博蓝特电子材料有限公司 |
| 地址 | 321000浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于晶圆清洗的片架，该用于晶圆清洗的片架包括片架本体、置放槽和至少一个漏水结构，其中：所述片架本体包括相对设置的两个侧面，且所述相对设置的两个侧面内侧对称设置有至少一对置放槽；所述漏水结构设置在所述相对设置的两个侧面上，且位于所述侧面的下部；所述漏水结构与所述置放槽连通。该片架漏水结构的设置，以及其与置放槽的呼应设计，极利于清洗中出料时上拉脱水及甩干脱水，提高了甩干效率。 |
