一种用于晶圆存储和运输的容器

基本信息

申请号 CN202020845029.0 申请日 -
公开(公告)号 CN212342586U 公开(公告)日 2021-01-12
申请公布号 CN212342586U 申请公布日 2021-01-12
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 徐良;郑小琳;蓝文安;刘建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭炜;叶继春 申请(专利权)人 金华博蓝特新材料有限公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 金华博蓝特电子材料有限公司
地址 321000浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于晶圆存储和运输的容器,包括上盖、底盖和用于安插晶圆的内胆,其中内胆位于底盖内,并与底盖可拆卸连接,上盖和底盖卡接。底盖的相对两个侧壁与底壁的相接处均分别设有凹槽,合盖时,凹槽的顶部与上盖的下端壁形成手扣结构,上盖的顶部外表面的两侧均设有表面粗糙化处理的按压条,两个按压条分别与两个凹槽位于容器的同一侧,上盖由弹性材料制成,使得分盖时,拇指按压按压条,其余手指进入手扣结构,并向外撑开上盖时,上盖和底盖得以分离。本实用新型的用于晶圆存储和运输的容器,能够开盖过程中避免拇指滑脱现象,并充分释放其余四指的操作空间,更方便进行开盖操作。