图形化磁性复合衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片

基本信息

申请号 CN202111415006.1 申请日 -
公开(公告)号 CN114122211A 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN114122211A 申请公布日 2022-03-01
分类号 H01L33/20(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郭园;吕腾飞;宋长伟;程志青;芦玲 申请(专利权)人 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
代理机构 淮安市科文知识产权事务所 代理人 廖娜;李锋
地址 223005江苏省淮安市清河新区景秀路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种图形化磁性复合衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片,包括衬底本体(110),以及设置于该衬底本体上的周期性的凸起结构(120),凸起结构包括底部图案层(121)、顶部图案层(123),以及位于两者之间的磁性插入层(122),且磁性插入层的材料不同于顶部图案层和底部图案层的材料。本发明中的图形化磁性复合衬底一方面能够避免在LED芯片生产过程中加入磁性材料导致的LED晶体质量变差、发光效率低下的问题;另一方面,由于包含该磁性复合衬底的LED芯片具有磁性,在微型LED巨量转移时,磁力转移装置加磁吸取磁性衬底,完成微型LED的转移。