一种用于监控连接线阻值变化因素的测试结构
基本信息
| 申请号 | CN202120261684.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215644392U | 公开（公告）日 | 2022-01-25 |
| 申请公布号 | CN215644392U | 申请公布日 | 2022-01-25 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张飞虎;陆梅君 | 申请（专利权）人 | 杭州广立微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 江苏坤象律师事务所 | 代理人 | 赵新民 |
| 地址 | 310012浙江省杭州市西湖区西斗门路3号天堂软件园A幢15楼F1座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于监控连接线阻值变化因素的测试结构，包括连接线组，所述连接线组包括宽线和窄线，宽线的线宽大于窄线的线宽；宽线和窄线的厚度相同，宽线和窄线的长度也相同；宽线的两端分别设置有测试端口，用于测量宽线的阻值；窄线的两端分别设置有测试端口，用于测量窄线的阻值；连接线组设置在阻值变化因素相同的环境下，包括连接线组的厚度变化相同和宽度变化相同；宽线的两端设置有四个端口，能进行KLV四端测试；所述窄线的两端设置有四个端口，能进行KLV四端测试。本实用新型的一种用于监控连接线阻值变化因素的测试结构，适用于金属线、多晶硅，也适用于金属化合物，可以用于金属栅、金属钨、金属铜等工艺中。 |
