一种宽电压范围高速多级放电电路、测试系统和放电方法

基本信息

申请号 CN202111128782.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113793815A 公开(公告)日 2021-12-14
申请公布号 CN113793815A 申请公布日 2021-12-14
分类号 H01L21/66 分类 基本电气元件;
发明人 成家柏 申请(专利权)人 杭州广立微电子股份有限公司
代理机构 江苏坤象律师事务所 代理人 赵新民
地址 310012 浙江省杭州市西湖区西斗门路3号天堂软件园A幢15楼F1座
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种宽电压范围的高速多级放电电路,包括多个放电单元和控制单元。所述放电单元是由限流电路、放电电阻和切换电路串联组成;不同级别的放电单元中的放电电阻的电阻值不同;所述控制单元控制放电单元处于连通状态或断路状态。本发明还提供了一种测试系统,在测试系统中采用了宽电压范围的高速多级放电电路,提高了测试的效率。本发明还提供了一种高速多级放电方法,该方法利用多级放电单元实现宽电压范围下的高速放电,有利于提高测试效率,以便快速获得器件的测试数据。