金刚石线切割循环系统

基本信息

申请号 CN202011561576.7 申请日 -
公开(公告)号 CN112720888A 公开(公告)日 2021-04-30
申请公布号 CN112720888A 申请公布日 2021-04-30
分类号 B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06;C10M175/00 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 王涛;朱超;宋宝业;李元 申请(专利权)人 句容协鑫光伏科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 柏尚春
地址 212400 江苏省镇江市句容市郭庄镇文溪路宁溧路交叉路口东侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种金刚石线切割循环系统,包括金刚石线切割机、过滤装置、输液管道、储液罐、切割垫板和循环液,其中切割垫板为抗菌切割垫板;循环液由切割产生的硅粉、垫板粉和弱酸性切割液混合后经过过滤装置过滤所得,为弱酸性、低电导的抗菌性循环液。本发明的循环系统,稳定性高、硅片崩边率低、金刚石切割线卡线率和断线率低、不易滋生菌群造成污染堵塞、简化工艺且降低成本,具有很高的推广意义。