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一种用于湿法刻蚀机的配液系统

基本信息

申请号 CN202022184069.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213913603U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213913603U 申请公布日 2021-08-10
分类号 B01F15/02（2006.01）I;B01F15/04（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 陆宇峰;王玉涛;张忠卫 申请（专利权）人 南通苏民新能源科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 226300江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于湿法刻蚀机的配液系统，包括储液槽、与储液槽相连的供液管路单元，称重模块，以及PLC控制模块；所述的供液管路单元，包括若干条供液管路以及设置在所述供液管路和所述储液槽接口端的控制阀；所述的称重模块，安装在所述储液槽的底端，用于记录储液槽中液体的重量；所述的PLC控制模块，与所述的控制阀和所述的称重模块相连，根据所接收的称重模块所输入的重量数据控制控制阀的启闭。本实用新型的配液系统直接通过重量的控制配置刻蚀液，减少刻蚀槽酸液配比误差，提高配液的精度。