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一种大产能刻蚀设备

基本信息

申请号 CN202111079792.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113725321A 公开（公告）日 2021-11-30
申请公布号 CN113725321A 申请公布日 2021-11-30
分类号 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 秦磊;杨均炎;张忠卫 申请（专利权）人 南通苏民新能源科技有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 226300江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种大产能刻蚀设备，包括产品上料、反应装置、产品下料和花篮，反应装置内上下方向分别设置有上反应槽和下反应槽，上反应槽和下反应槽上分别设置有上传动滚轮和下传动滚轮，反应装置内位于下反应槽下方设置有储液箱，反应装置左右侧面设置有反应液管道，反应液管道下端接在储液箱内，反应液管道上部分别与上反应槽和下反应槽连通，产品上料和产品下料上分别设置有前传输皮带和后传输皮带，前传输皮带的后端通过前活动中枢与两个前活动输送板前端连接，后传输皮带前端通过后活动中枢与两个后活动输送板后端连接。本发明的一种大产能刻蚀设备，能够在不改变设备占地面积前提下，提升产能产出，避免造成产能堆积。