一种镀膜机U型槽用气路机构
基本信息
| 申请号 | CN202022544370.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214529234U | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN214529234U | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨林海;王玉涛;张忠卫 | 申请（专利权）人 | 南通苏民新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 226300江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜机U型槽用气路机构，U型槽由底座和两侧对称倾斜设置的侧板所形成，沿着U型槽的延伸方向等距离的开设有若干个呈线性分布的通气孔，在所述U型槽的背面对应于所述通气孔的位置开设有贯通的气体管道，所述通气孔连通所述气体管道的内腔，所述气体管道的端部设有控制阀，所述控制阀的另一端与特气供应管路连接。本实用新型所改进的U形槽，通过在U形槽的背面设置的气体管路，并将该气体管路与特气管路采用可拆卸式的方式连接，便于发生故障时方便拆卸硅烷特气管路以减少排查时间。 |
