一种双面PERC太阳电池及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911290591.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113066893A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113066893A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/068 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马胜;童锐;张忠卫 | 申请（专利权）人 | 南通苏民新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 俞翠华 |
| 地址 | 226300 江苏省南通市通州湾江海联动开发示范区扶海路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双面PERC太阳电池及其制备方法，所述方法包括对硅片做预处理；在所述硅片的背面顺次沉积氧化硅薄膜和氮氧化硅薄膜，以及具有多层折射率的氮化硅薄膜；对所述硅片做后处理，完成双面PERC太阳能电池的制备。本发明中的氧化硅薄膜和氮氧化硅薄膜均比较致密，具有较好的化学稳定性、很强的抗杂质扩散和水汽渗透能力，可有效解决背面PID问题，且两种膜层均为较佳的钝化膜层，并不影响电性能。 |
