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线阵图像传感器像素阵列及物体表面缺陷检测方法

基本信息

申请号 CN201811181670.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109346492B 公开（公告）日 2019-02-15
申请公布号 CN109346492B 申请公布日 2019-02-15
分类号 H01L27/146(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘楠;刘岩;王琪;周泉;王欣洋 申请（专利权）人 杭州长光辰芯微电子有限公司
代理机构 长春吉大专利代理有限责任公司 代理人 王淑秋
地址 310053 浙江省杭州市滨江区浦沿街道六和路368号一幢（南）三楼E3044室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种线阵图像传感器像素阵列及物体表面缺陷检测方法，该像素阵列包括2‑3个像素阵列单元，每个像素阵列单元至少包含一行像素；其中至少有一个像素阵列单元由A类像素组成，其余像素阵列单元由B类像素组成；同一像素阵列的A类像素的微透镜同向横向偏移，偏移的距离不小于像素尺寸单边长的1/5，最大不超过像素尺寸单边长的一半；B类像素的微透镜与像素几何中心重合；采用上述线阵图像传感器像素阵列，通过判断同列像素角度响应灵敏度比值变化的范围、比例变化的程度，可以推定各列像素对应的主光线入射角度并还原被检物表面的形貌，实现对被测物表面不规则缺陷尺寸、类型、形貌等缺陷的精细检测。