薄膜晶体管、制备方法以及显示面板
基本信息
| 申请号 | CN202110448608.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113178493A | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN113178493A | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | H01L29/786（2006.01）I;H01L21/336（2006.01）I;H01L27/12（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙梦翔;戴伟;李月婷;刘建辉;孔令辰;王笙灏;徐金华;冯辉;张昊;王震宇;张福刚;文鑫 | 申请（专利权）人 | 武汉京东方光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 肖阳 |
| 地址 | 100015北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了薄膜晶体管、制备方法以及显示面板，制备薄膜晶体管的方法，包括：提供基板，在基板的一侧形成有源层材料，有源层材料覆盖像素区和控制区，在有源层材料远离基板的一侧形成第一金属层，在第一金属层远离有源层材料的一侧形成第一光刻胶层，对在基板上的正投影位于像素区内的第一金属层进行刻蚀以在控制区内形成源漏极层，对第一光刻胶层进行预灰化以形成第二光刻胶层，对在基板上的正投影位于像素区内的有源层材料进行刻蚀以去除像素区内的有源层材料。由此，可通过上述方法较为简易的方法的制备显示效果良好，制造成本较低，器件寿命较长的薄膜晶体管。 |
