一种新型真空蒸镀机的视窗结构
基本信息
| 申请号 | CN202023098324.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214271021U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214271021U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵成磊 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种新型真空蒸镀机的视窗结构，从腔体门外部向内部的方向依次包括外层玻璃、回转玻璃和防着板，防着板固定在腔体门的内侧壁上，外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴，回转轴与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转，防着板上设置有观察孔，真空蒸镀机腔体门上的所述视窗结构有两个，两个视窗结构上下设置，并且，上方的视窗结构的防着板的第一观察孔水平设置，下方的视窗结构的防着板的第二观察孔竖直设置，所述回转轴为一体式磁流体密封回转轴，回转轴从前到后包括：首端部、螺纹杆体部、平滑杆体部、凸起部和尾端部，回转轴的尾端部与回转玻璃通过螺钉固定，外层玻璃位于靠近凸起部的平滑杆体部上。 |
