一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构
基本信息
| 申请号 | CN202023304109.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214193431U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214193431U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹恒涛 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种新型真空蒸镀机的伞架行星转结构，包括：固定件、中空板、侧连接件、和圆轨道，所述固定件与真空蒸镀机的腔室上方的旋转驱动件连接，固定件与中空板固定，侧连接件与中空板和圆轨道连接，圆轨道与真空蒸镀机的腔室的面板固定，固定件包括中空圆柱部和L型杆，侧连接件包括：固定条、中空连接轴和圆盘件，固定条与中空连接轴垂直固定，中空连接轴与圆盘件连接，固定条与中空板固定，圆盘件与圆轨道连接，伞架的连接杆穿过中空连接轴并连接，旋转驱动件旋转时，带动固定件旋转，固定件带动中空板、固定条和中空连接轴旋转，中空连接轴带动圆盘件和伞架沿着圆轨道进行公转旋转，并且带动圆盘件和伞架进行自转旋转。 |
