一种真空蒸镀机的加热灯结构
基本信息
申请号 | CN202023107580.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214168111U | 公开(公告)日 | 2021-09-10 |
申请公布号 | CN214168111U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 薛蒙晓 | 申请(专利权)人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 赵成磊 |
地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请提供一种真空蒸镀机的加热灯结构,能够调整加热灯的辐射角度,使腔体内的温度均匀,并且安装及拆卸方便;所述真空蒸镀机的加热灯结构,设置在真空蒸镀机的腔室的底面板上,所述加热灯结构包括:竖杆、连接件、折弯件、和加热灯盒,竖杆的底部与真空蒸镀机的腔室的底面板固定,折弯件的一端通过连接件与竖杆连接,通过连接件能够调节折弯件与竖杆连接的高度位置,从而调节加热灯盒的高度,折弯件的另一端与加热灯盒连接,加热灯盒能够相对折弯件运动,从而调节加热灯盒的角度,折弯件包括水平部和倾斜部,倾斜部与加热灯盒连接,倾斜部向着真空蒸镀机的腔室的中心,加热灯盒相对倾斜部运动时始终向着真空蒸镀机的腔室的中心线。 |
