一种新型真空蒸镀机
基本信息
| 申请号 | CN202023304257.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214168121U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214168121U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/30（2006.01）I;C23C14/52（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹恒涛 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构的伞架有3个，设置在蒸镀腔体的腔体侧面内壁上的防着板，能够与蒸镀腔体的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。 |
