一种新型蒸镀机
基本信息
| 申请号 | CN202023304244.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214193432U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214193432U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹恒涛 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 为了解决如何提高真空镀膜的问题，本实用新型提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。 |
