一种蒸镀机的坩埚遮板机构
基本信息
| 申请号 | CN202023145778.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214168113U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214168113U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹恒涛 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种蒸镀机的坩埚遮板机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板旁的防着板上固定设有遮条，防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上，遮板和遮条的配合可以防止长时间的蒸发造成源材料的浪费，气动阀门带动遮板旋转，坩埚遮板机构结构简单，自动化程度高。 |
