一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构
基本信息
申请号 | CN202023122109.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214271022U | 公开(公告)日 | 2021-09-24 |
申请公布号 | CN214271022U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 薛蒙晓 | 申请(专利权)人 | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
代理机构 | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 赵成磊 |
地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 为了解决现有的被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板,这种镀膜修正板不能适用多种被镀件,通用性差的问题,本实用新型提出一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构,由于第一支架和第二支架与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板和第二修正板可拆卸的连接在支杆的上端,第一支架远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆,第二支架远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆,连接方式均为可拆卸连接,方便更换第一修正板和第二修正板,修正板机构不使用时可以拆除,结构简单,操作方便。 |
