一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构

基本信息

申请号 CN202023122109.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214271022U 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN214271022U 申请公布日 2021-09-24
分类号 C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 薛蒙晓 申请(专利权)人 苏州佑伦真空设备科技有限公司
代理机构 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 赵成磊
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号
法律状态 -

摘要

摘要 为了解决现有的被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板,这种镀膜修正板不能适用多种被镀件,通用性差的问题,本实用新型提出一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构,由于第一支架和第二支架与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板和第二修正板可拆卸的连接在支杆的上端,第一支架远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆,第二支架远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆,连接方式均为可拆卸连接,方便更换第一修正板和第二修正板,修正板机构不使用时可以拆除,结构简单,操作方便。