首页/ 辽宁科旺光电科技有限公司/ 专利详情

高精度位置检测装置及方法

基本信息

申请号 CN201310119400.X 申请日 -
公开（公告）号 CN103267478B 公开（公告）日 2018-10-02
申请公布号 CN103267478B 申请公布日 2018-10-02
分类号 G01B11/00;G01B11/14 分类 测量；测试;
发明人 曹晓君;白春;伏碧德;龚婧瑶 申请（专利权）人 辽宁科旺光电科技有限公司
代理机构 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人 辽宁科旺光电科技有限公司
地址 115000 辽宁省营口市沿海产业基地新联大街东1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种高精度位置检测装置及方法，属于光学检测领域。该装置包括：短相干光源、准直透镜、起偏器、1/2波片、分光器、全反射镜、耦合透镜、末端反射式光纤分束器、聚焦透镜、检偏器、传感器、两个1/4波片和变焦透镜，各部件形成参考光路和测量光路。参考光路中不同分支的光程差是固定的并且不相同，假设测试范围为L，参考光路包括n支，为了测试L长度的光学表面间距，可动镜片只需要移动L/n的距离，通过分析可动镜片位置以及干涉条纹的中心位置，就可以准确知道被测系统L范围中包括不同光学表面的位置。该检查装置具有检测范围大且可动镜片移动范围小，结构简单，测量精度高的优点。