一种增强型开关器件及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201780052620.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110100313A | 公开（公告）日 | 2019-08-06 |
| 申请公布号 | CN110100313A | 申请公布日 | 2019-08-06 |
| 分类号 | H01L29/778 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 程凯 | 申请（专利权）人 | 上海浦东发展银行股份有限公司苏州分行 |
| 代理机构 | 北京布瑞知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孟潭 |
| 地址 | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号西北区20幢517-A室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种增强型开关器件及其制造方法，解决了现有增强型开关器件的制造工艺复杂以及稳定性和可靠性差的问题。其中的增强型开关器件包括：衬底(1)；依次设于所述衬底(1)上的沟道层(23)以及势垒层(24)；形成于所述势垒层(24)上的n型半导体层(3)，所述n型半导体层(3)的表面上定义有栅极区域；形成于所述栅极区域且至少部分贯穿所述n型半导体层(3)的凹槽(4)；以及形成于所述n型半导体层(3)表面并至少填充所述凹槽(4)内部的p型半导体材料(5)。 |
