曝光机的挡板位置确定方法
基本信息
| 申请号 | CN201710514972.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109212908B | 公开（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申请公布号 | CN109212908B | 申请公布日 | 2019-01-15 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 唐文静;范刚洪;徐广军;王群 | 申请（专利权）人 | 昆山仪电显示材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 闫海珍;吴敏 |
| 地址 | 201108上海市闵行区华宁路3306弄160号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种曝光机的挡板位置确定方法，本发明通过改变挡板位置确认图形的位置，将其设置在两次曝光子区域的共同边界附近，从而在一次挡板位置确认图形检查过程中，可以同时检查两个子曝光区域的边界。相对于每次检查一个子曝光区域边界的方法，能提高检查效率、降低确认图形的浏览量、缩短检查时间、提高产能。 |
