基板检查系统
基本信息
| 申请号 | CN202023172645.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215067595U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215067595U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | G02F1/13（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 朱彬;张莉;石雷鸣;田卿;陈瑶 | 申请（专利权）人 | 昆山仪电显示材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴敏 |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市经济技术开发区蓬溪北路500号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种基板检查系统，包括：检查设备，用于对基板进行检查，所述检查设备上具有一组相对设置的第一定位杆；基板搬运小车，用于从所述检查设备取、放基板以及运送基板，所述基板搬运小车包括一对平行设置的移动底架，所述移动底架相对的侧壁上设置有若干导向轮，所述移动底架适于从两侧夹住所述第一定位杆，且所述导向轮适于沿所述第一定位杆滑动。本实用新型实施例提供的基板检查系统，能够实现不同检查设备间的对位，降低人工操作难度。 |
