彩色滤光基板的制作方法

基本信息

申请号 CN201611207637.3 申请日 -
公开(公告)号 CN108241231B 公开(公告)日 2021-10-26
申请公布号 CN108241231B 申请公布日 2021-10-26
分类号 G02F1/1335(2006.01)I 分类 光学;
发明人 王菁晶;范刚洪;徐广军;张莉 申请(专利权)人 昆山仪电显示材料有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 吴圳添;吴敏
地址 215300 江苏省苏州市昆山市经济技术开发区蓬溪北路500号
法律状态 -

摘要

摘要 一种彩色滤光基板的制作方法,包括:提供当前基板,所述当前基板包括多个片格区,曝光设备一次曝光所覆盖到的所述片格区为一个第一区域;在一个所述第一区域内,至少一个所述片格区为非屏幕区,其它所述片格区为屏幕区;在一个所述第一区域内,在所述屏幕区形成功能结构时,同时在所述非屏幕区形成测试结构;利用所述测试结构,得到所述功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系。所述彩色滤光基板的制作方法能够更加简便和快捷地得到功能结构的实际线宽与预设线宽的大小关系,从而更加有效地对功能结构的实际线宽进行控制。