真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201920029662.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209636325U | 公开（公告）日 | 2019-11-15 |
| 申请公布号 | CN209636325U | 申请公布日 | 2019-11-15 |
| 分类号 | C23F17/00;C23C8/38;C23C14/32;C23C14/16 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱国朝;袁安素 | 申请（专利权）人 | 纳狮新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 纳狮新材料（浙江）有限公司;纳狮新材料有限公司 |
| 地址 | 314200浙江省嘉兴市平湖市经济技术开发区兴平二路1661号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本揭露涉及一种真空镀膜机。一种真空镀膜机，包括：腔体；真空抽气装置用于使腔体内形成真空环境；工件架设置于腔体内以用于承载待处理模具；驱动装置用于驱动工件架转动；加热器设置于腔体内且与腔体绝缘并对待处理模具加热；一或多个矩形多弧阴极离子源设置于腔体内，矩形多弧阴极离子源包括阴极座体和靶材，阴极座体与腔体绝缘，靶材设置于阴极座体内表面；阳极盘部分设置于腔体内且与腔体绝缘；空心阴极离子源与阳极盘相对应且部分设置于腔体内；空心阴极电源，其中阳极盘与空心阴极电源的阳极电连接，空心阴极离子源与空心阴极电源的阴极电连接；空心阴极电源使阳极盘和空心阴极离子源之间产生电子和电场。 |
