曝光设备
基本信息
| 申请号 | CN202120627977.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214474415U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214474415U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄国勇;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人 | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 黄广龙 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种曝光设备，属于掩膜版制造技术领域。曝光设备，包括：机体；工件放置板，所述工件放置板可从所述机体外部滑动至所述机体内部，所述工件放置板用于放置掩膜版；紫外线灯板，所述紫外线灯板位于所述机体内部，所述紫外线灯板用于照射所述工件放置板上的掩膜版。本申请的曝光设备能够对掩膜版进行紫外线光照射，并且结构简单，易于实施，操作方便，能够快速取放掩膜版，生产效率高。 |
