光罩清洗治具及光罩清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202120919284.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214751318U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214751318U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | G03F1/82（2012.01）I;F26B5/08（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 黄国勇;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人 | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 熊思远 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光罩清洗治具及光罩清洗装置。本实用新型的光罩清洗治具包括框体和固定部。固定部设于所述框体的内侧的边端，用于固定光罩，且所述固定部避开所述框体的内侧的角端，与所述框体的内侧的角端形成第一排水区，第一排水区用于使所述框体的内侧的角端与光罩形成间隔。所述固定部设于框体的内侧的边端，第一排水区形成于框体的内侧的角端，使光罩与框体的内侧的角端留有间隔，在该光罩清洗治具旋转甩干光罩上的水时，光罩与框体的内侧的角端之间不产生积水，提高光罩清洗效果。 |
