定位贴合装置
基本信息
| 申请号 | CN202022683664.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214036416U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214036416U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | F16B11/00（2006.01）I;G01B11/02（2006.01）I;G01B5/02（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 刘猛;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人 | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 邱维杰 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种定位贴合装置，涉及光罩配件装配领域；所述定位贴合装置包括工件承载组件，所述工件承载组件用于固定第一工件；第二工件调节组件，所述第二工件调节组件包括第一微调件、第二微调件以及工件治具，所述工件治具位于所述工件承载组件一侧，且所述工件治具位于所述工件承载组件上的第一工件的下方；所述第一微调件用于驱动所述工件治具沿第一方向水平移动；所述第二微调件用于驱动所述第一微调件沿第二方向水平移动；拍摄组件，所述拍摄组件用于获取所述工件治具在所述第一方向的移动距离和在所述第二方向的移动距离；通过上述方式，提升工件背面贴合的精度。 |
