支撑治具及清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202120177596.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214278625U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214278625U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | G03F1/82（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘猛;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人 | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 谢岳鹏 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种支撑治具及清洗设备。支撑治具用于光罩清洗时承载光罩，支撑治具包括载具本体，载具本体具有相对的上表面和下表面，载具本体的中部设有：第一通槽，第一通槽用于容纳光罩，且收容于第一通槽内的光罩的上表面高于载具本体的上表面；多个第二通槽，环绕设于第一通槽的外侧，至少部分第二通槽的截面积从上表面往下表面的方向逐渐增大；支撑部，用于支撑光罩，设于第一通槽的槽壁上并延伸至第一通槽内。本实用新型的支撑治具能够提升光罩的清洗效果。 |
