板件夹具及真空镀膜设备

基本信息

申请号 CN202120106958.4 申请日 -
公开(公告)号 CN214458293U 公开(公告)日 2021-10-22
申请公布号 CN214458293U 申请公布日 2021-10-22
分类号 C23C14/50;C23C14/00 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 陈德浇;司继伟;杜武兵 申请(专利权)人 深圳市路维光电股份有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 谢岳鹏
地址 518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种板件夹具,用于夹持板件,包括立杆、夹持杆和调整组件。立杆设置有两个,两个立杆相互平行设置;夹持杆设置有多个,相邻的夹持杆的相对侧面能够夹持板件的两个相对的侧边;调整组件包括滑块和锁紧件,滑块滑动连接于立杆,夹持杆的两端通过滑块分别连接于两个立杆,锁紧件用于将滑块固定于立杆上。调整组件能够沿立杆长度方向调整夹持杆的位置,从而能够调整相邻的夹持杆间的距离,以夹持多种不同尺寸的板件。