光罩内部清洁方法及清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN202110494398.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113376956A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113376956A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | G03F1/82（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘猛;司继伟;杜武兵 | 申请（专利权）人 | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 熊思远 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光罩清洁方式及清洁装置。本发明的光罩清洁方式能够通过激光透过光学膜照射灰尘，将所述灰尘击碎至不影响所述光罩正常使用的尺寸，或者将所述灰尘移动至不影响所述光罩正常使用的位置。光罩内部清洁方法，至少具有如下有益效果：可在不撬除光学膜的情况下，通过激光透过光学膜照射灰尘，将所述灰尘击碎至不影响所述光罩正常使用的尺寸，或者将所述灰尘移动至不影响所述光罩正常使用的位置，能够减少光罩的生产成本以及提高生产效率。 |
