垂直移动平台及包含其的激光直写式光刻设备
基本信息
| 申请号 | CN202122052615.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216118384U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216118384U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 洪俊辉;汪孝军;梅文辉 | 申请（专利权）人 | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 梁鉴明 |
| 地址 | 528400广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种垂直移动平台及包含其的激光直写式光刻设备，垂直移动平台包括：机座组件；调节座，设置于机座组件；第一垂直度调节装置，包括上调节组件和下调节组件，上调节组件和下调节组件设置于机座组件，上调节组件能调节调节座上部的前后位置，下调节组件能调节调节座下部的前后位置；第二垂直度调节装置，包括左调节组件和右调节组件，左调节组件和右调节组件设置于机座组件，左调节组件能调节调节座的左侧部的上下位置，右调节组件能调节右侧部的上下位置；升降装置，设置于调节座，升降装置具有能上下移动的移动台。上述的垂直移动平台及包含其的激光直写式光刻设备，能够进行垂直度的调节。 |
