一种提高数字化激光直写曝光机分区对位效率的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111671032.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114200787A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114200787A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 罗覃东;梅文辉 | 申请（专利权）人 | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇智胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵立军 |
| 地址 | 528437广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提高数字化激光直写曝光机分区对位效率的方法。所述方法包括下述步骤：S1、形成基板，在所述基板上设置有多个曝光区域，根据设计图纸，对于每个曝光区域设置有四个矩形分布的mark点；S2、对于每个曝光区域，利用对位相机抓取对角的2个mark点，根据抓取的2个mark点，虚拟出每个曝光区域剩下的2个mark点；对于每个曝光区域，根据对位相机抓取的2个mark点和虚拟出的2个mark点，进行对位曝光。本发明的方法能减少一半抓mark点的时间，显著提高曝光产能。 |
