一种数字化激光直写曝光机分区对位方法
基本信息
| 申请号 | CN202111671014.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114200786A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114200786A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 白国梁;梅文辉;汪孝军;罗覃东 | 申请（专利权）人 | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇智胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵立军 |
| 地址 | 528437广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种数字化激光直写曝光机分区对位方法。所述方法包括：S1、制作一次曝光资料，其中，在矩形的一次曝光图的两侧，根据相机视野布置多个mark点；S2、在第一曝光机台上对基板曝光一次曝光资料；S3、制作二次曝光资料；S4、选取四个角落mark点作为对位点，生成对位数据；S5、根据一次曝光机台的扫描轴轨迹添加对位点；S6、将所述基板放置在第二曝光机台上，通过对位相机获取基板上作为对位点的mark点的实际坐标数据；S7、根据所述作为对位点的mark点的实际坐标数据与理论坐标数据，对二次曝光图形进行分区对位涨缩、旋转与偏移，使得二次曝光图形贴合于一次曝光图形。 |
