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一种新型激光直写式光刻运动平台

基本信息

申请号	CN202121521734.6	申请日	-
公开（公告）号	CN215006247U	公开（公告）日	2021-12-03
申请公布号	CN215006247U	申请公布日	2021-12-03
分类号	G03F7/20（2006.01）I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	洪俊辉;汪孝军;梅文辉	申请（专利权）人	中山新诺科技股份有限公司
代理机构	中山市铭洋专利商标事务所（普通合伙）	代理人	唐飚
地址	528400广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种包括光刻运动平台，包括基座及载物台，所述载物台通过设置于光刻运动平台基座上的X向移动机构及Y向移动机构带动而在平面内移动，所述X向移动机构包括X向预压气浮板、相对设置与光刻运动平台基座上的X向导轨及X向包裹架，所述X向包裹架通过气浮轴承与X向导轨连接；所述Y向移动机构包括Y向预压气浮板、设置与光刻运动平台基座上的Y向导轨及Y向包裹架，所述Y向包裹架通过气浮轴承与Y向导轨连接，所述Y向包裹架的底部与Y向预压气浮板连接且通过Y向预压气浮板支撑，所述Y向导轨的两端分别与对应的X向预压气浮板连接且通过X向预压气浮板支撑，且所述Y向导轨的两端还分别与对应的X向包裹架连接，所述载物台设置于Y向包裹架上。