一种用于基材的支撑机构及双面数字化直写曝光机
基本信息
| 申请号 | CN202121018970.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214896197U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214896197U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 汪孝军 | 申请（专利权）人 | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 伍传松 |
| 地址 | 528400广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于基材的支撑机构及双面数字化直写曝光机，支撑机构包括第一中空框体、第二中空框体、定位组件。第一中空框体上间隔设置有用于将其中空区域分割成多组第一漏光区域的多组第一钢丝。第二中空框体与第一中空框体相互配合连接成一体，第二中空框体上间隔设置有用于将其中空区域分割成多组第二漏光区域的多组第二钢丝，第二钢丝和第一钢丝的延伸方向均平行基材的第一曝光方向。定位组件用于将基材定位在多组第二钢丝和多组第一钢丝之间，第一中空框体和第二中空框体整体相对定位组件水平运动且方向平行基材的第二曝光方向，第二曝光方向与第一曝光方向相互垂直。本实用新型可以提高曝光精度和曝光图形的质量。 |
