水路检测系统和水路检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202010608513.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111811798A | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN111811798A | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | G01M13/00(2019.01)I;G01M3/28(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王建军;朱青;汪佳;施政;黄保强 | 申请（专利权）人 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种水路检测系统和水路检测方法，水路检测系统包括供液装置、调压装置、压力检测组件、流量检测装置、采集装置和信息处理装置，调压装置用于调节供液装置提供的检测液体的压力，压力检测组件包括第一压力检测装置和第二压力检测装置，流量检测装置适于监测出口处的流量，采集装置用于采集压力检测组件和流量检测装置的监测数据，信息处理装置用于对采集装置采集的数据进行处理以得到实测关系曲线，且适于通过实测关系曲线和标准关系曲线的对比分析得到检测结果，实测关系曲线为进口和出口之间的压力差和出口处的流量之间的关系曲线。根据本发明的水路检测系统，结构简单，成本较低，更加直观地反映待检测水路是否存在质量问题。 |
