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单晶炉的除尘过滤系统及其控制方法、单晶炉组件

基本信息

申请号 CN202011508798.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112619306A 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN112619306A 申请公布日 2021-04-09
分类号 B01D46/00;C30B15/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 王建军;汪佳;王磊;黄保强;王晓明;张理杰 申请（专利权）人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 周慧云
地址 221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶炉的除尘过滤系统，包括除尘装置、储气装置、第一真空装置和第二真空装置，除尘装置为多个，每个除尘装置上设有第一进气管路，第一进气管路适于与单晶炉的排气口连通，储气装置上设有出气管路，每个除尘装置分别通过出气管路与储气装置连通，出气管路上设有第二开关阀，第一真空装置上设有第一真空管路，每个除尘装置分别通过第一真空管路与第一真空装置连通，第二真空装置上设有第二真空管路，每个除尘装置分别通过第二真空管路与第二真空装置连通。根据本发明的单晶炉的除尘过滤系统，便于实现对除尘装置的除尘处理，有效避免除尘装置堵塞，且不影响单晶炉的长晶过程。