定位测量机构

基本信息

申请号 CN202020487025.X 申请日 -
公开(公告)号 CN212946848U 公开(公告)日 2021-04-13
申请公布号 CN212946848U 申请公布日 2021-04-13
分类号 B23Q17/22(2006.01)I;B25H7/04(2006.01)I;B23Q17/00(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 李逸;楼杭炯;朱青 申请(专利权)人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 蔡梦媚
地址 221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种定位测量机构,包括定位测量臂和多个定位安装臂,多个定位安装臂的长度一端枢转相连,每个定位安装臂的长度另一端分别具有定位结构,定位结构适于与机架定位配合,定位安装臂的长度可伸缩调节,定位安装臂上设有第一长度测量尺,定位测量臂的长度一端与多个定位安装臂的长度一端枢转相连,定位测量臂上设有至少一个定位指示件,定位指示件相对于多个定位安装臂的枢转轴线可移动,以至少用于测量机架上的目标位置的位置偏差,定位测量臂上设有第二长度测量尺,以测量定位指示件与枢转轴线之间的距离。根据本实用新型的定位测量机构,结构简单、紧凑,便于实现免拆测量,具有良好的测量精度,有效提升了生产效率。