晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202011353627.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112647124A | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN112647124A | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | C30B15/32;C30B15/30;C30B15/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 袁长路;苗江涛 | 申请（专利权）人 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄玉霞 |
| 地址 | 221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备，提拉系统包括：固定支架、籽晶轴和密封组件。籽晶轴为刚性件，密封组件设在固定支架上且套设在籽晶轴的下端，籽晶轴相对密封组件可上下移动且绕籽晶轴的中心轴线可转动，密封组件与籽晶轴的外周面之间限定出适于容纳润滑油的润滑间隙，密封组件上形成有与润滑间隙连通的第一进口和第一出口，润滑油适于从第一进口进入润滑间隙，并适于从第一出口流出润滑间隙。根据本发明实施例的提拉系统，籽晶轴的旋转和提升更为稳定，有利于晶体中原子的排列和生长，并且籽晶轴下端的密封组件能进一步使籽晶轴更加稳定运行，从而有效提升晶体生长质量。 |
