用于单晶炉的快捷化料机构
基本信息
| 申请号 | CN201920627321.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210085626U | 公开（公告）日 | 2020-02-18 |
| 申请公布号 | CN210085626U | 申请公布日 | 2020-02-18 |
| 分类号 | C30B35/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 魏海宁;楼杭炯 | 申请（专利权）人 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京淮海知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 地址 | 221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种用于单晶炉的快捷化料机构，包括柱形防护罩，所述柱形防护罩的内侧面底部设有坩埚，柱形防护罩的内侧面设有环形吸热管，柱形防护罩的外侧面上端设有定位板，定位板的上表面设有L形定位板，L形定位板的外侧面中部设有矩形油箱，矩形油箱的上表面设有回流泵，L形定位板的外侧面上端连接有环形预热罩，本用于单晶炉的快捷化料机构，结构紧凑，安装方便，使用时占用空间小，可以快速高效的对单晶硅生产原料进行预加热处理，环形预热罩的设置使得原料可以均匀受热，环形吸热管的设置方便了热量的回收，排料电机通过带动下料螺杆均匀旋转，可以实现物料的均匀下料。 |
